隔膜式真空泵的原理及用途

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隔膜式真空泵的原理及用途

隔膜式真空泵是最常用的真空泵之一,是利用柔性的活性膜隔离吸入和排出的空气来获得真空的空气泵。该装置的原理是,在活动叶片进行往复旋转时候,活动叶片会把工作空气抽取出去,切断了排出口与吸入口之间的联系,分别由吸入和排出口进行抽真空,形成密封的真空室,从而达到节省能源、降低成本的目的。

隔膜式真空泵的主要用途在常温下是真空萃取,高温下经常被用于对植物细胞进行处理,处理时间比原泵快得多,大大增加了植物细胞处理效率,也可以用于半导体行业中清除污染物,由于关键工艺和其他原因,半导体的污染物的浓度达到了最低的要求,在该过程中也可以使用隔膜式真空泵。

由此可见,隔膜式真空泵的原理和用途可以说是非常多才多艺的,不仅可以用于各种工业行业,还可以用于研究、技术开发。可见其作用是不可代替的。

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