真空泵是制备真空、减压或将气体引入真空容器的主要单元，有多种类型，如旋转螺杆泵、活塞式泵、隔膜泵、离心泵和涡轮泵等。使用后可大大提高工作效率。下面是真空泵的使用方法。
1.首先，在真空系统中，泄漏率应小于5×10-2pa/s。检查系统的连接，以确保密封性，并及时更换密封件。
2.检查电气系统的安全性，以确保其有序运行。
3.查看维护手册，熟悉产品的性能与维护要求。
4.将真空泵安装在安装基板上，并将两种接口连接起来，这样就可以完成安装程序。
5.真空泵应在清洁、干燥、通风良好的地方使用。并保证温度在10℃－50℃之间，湿度在85％R.H.以下，并避免震动或过度噪音。
6.真空泵的使用要有步骤，依次打开真空泵电源、润滑油检查安全按钮，启动真空泵的加速器，加速器慢慢加速直至达到设定值，等待真空到达设定值，最后检查真空泵的运行状态是否正常。
在使用真空泵时，应注意以上要求，遵守使用规范，加以维护，以保障使用安全和产品可靠性，使得其可以正常使用。
